四探針電阻率測試儀/四探針電阻率儀/方阻測試儀/方阻儀/四探針電阻率測定儀 型號：TC-KDY-1
四探針電阻率/方阻測試儀（以下簡稱電阻率測試儀）是用來測量半導(dǎo)體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份（簡稱：主機）、測試架及四探針頭組成。
本儀器的特點是主機配置雙數(shù)字表，在測量電阻率的同時，另一塊數(shù)字表（以萬分之幾的精度）適時監(jiān)測全程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉(zhuǎn)換，更及時掌控測量電流。主機還提供精度為0.05%的恒流源，使測量電流高度穩(wěn)定。本機配有恒流源開關(guān)，在測量某些箔層材料時，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生，更好地保護箔膜。儀器配置了本公司的產(chǎn)品：“小游移四探針頭”，探針游移率在0.1～0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度。本機如加配HQ-710E數(shù)據(jù)處理器，測量硅片時可自動進行厚度、直徑、探針間距的修正，并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均習(xí)庋。給測量帶來很大方便。
2、主機技術(shù)能數(shù)
（1）測量范圍：
可測電阻率：0.0001～19000Ω?cm
可測方塊電阻：0.001～1900Ω?□
（2）恒流源：
輸出電流：DC 0.001～100mA 五檔連續(xù)可調(diào)
量程：0.001～0.01mA
0.01～0.10mA
0.10～1.0mA
1.0～10mA
10～100mA
恒流精度：各檔均低于±0.05%
（3）直流數(shù)字電壓表：
測量范圍：0～199.99mV
靈敏度：10μV
基本誤差：±（0.004%讀數(shù)+0.01%滿度）
輸出電源：≥1000ΩM
（4）供電電源：
AC 220V±10% 50/60 Hz 功率：12W
（5）使用環(huán)境：
溫度：23±2℃ 相對濕度：≤65%
無較強的電場干擾，無強光直接照射
（6）重量、體積：
主機重量：7.5kg
體積：365×380×160（單位：mm 長度×寬度×高度）
備注：
等級測量時（測電阻率），精度<3%
電氣測量時（測電阻），精度在0.3%以內(nèi)
備注：
儀器包括：主機一臺；測試架（包括臺面）一個；四探針頭1個
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產(chǎn)品名稱：四探針方阻電阻率測試儀 產(chǎn)品型號： FT-331 |
一. 描述Description：
采用范德堡測量原理能解決樣品因幾何尺寸、邊界效應(yīng)、探針不等距和機械游移等外部因素對測量結(jié)果的影響及誤差，提供通訊接口，PC軟件數(shù)據(jù)處理及數(shù)據(jù)分析.中文或英文語言版本.
二.參照標(biāo)準(zhǔn)standard：
硅片電阻率測量的標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）及國家標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計制造；GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》.
三.適用范圍Applicable scope：
適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗和分析半導(dǎo)體材料質(zhì)量的工具；液晶顯示，自動測量和系數(shù)補償，并帶有溫度補償功能，自動轉(zhuǎn)換量程；采用AD芯片控制，恒流輸出，選配：PC軟件，保存和打印數(shù)據(jù)，生成報表
用于：覆蓋膜;導(dǎo)電高分子膜，高、低溫電熱膜;隔熱、導(dǎo)電窗膜 導(dǎo)電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標(biāo)簽、合金類箔膜;熔煉、燒結(jié)、濺射、涂覆、涂布層，電阻式、電容式觸屏薄膜;電極涂料，其他半導(dǎo)體材料、薄膜材料方阻測試等相關(guān)產(chǎn)品
四.型號及參數(shù)Models and technical parameters
規(guī)格型modelFT-331
1.方塊電阻范圍Sheet resistance 10-5～2×105Ω/□
2.電阻率范圍Resistivity 10-6～2×106Ω-cm
測試電流范圍
Test current 0.1μA ，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA
4.電流精度 Current accura±0.1%
5.電阻精度Resistance ≤0.3%
6.顯示讀數(shù)display液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率LCD: resistance. resistivity. sheet resistance. temperature. unit conversion.temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness. conductivity 7.測試方式test mode普通單電測量general single electrical measurement
8.工作電源power輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<30W
9.誤差errors≤4%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果 Standard Sample results）
10.選購功能choose to buy選購1.pc軟件； 選購2.方形探頭； 選購3.直線形探頭； 選購4.測試平臺；5.標(biāo)準(zhǔn)電阻
1.pc software; 2. square probe; 3. linear probe; 4. test Platform.
11.測試探頭Test probe探針間距選購：1mm；2mm；3mm三種規(guī)格; 探針材質(zhì)選購：碳化鎢針;白鋼針；鍍金磷銅半球形針Optional probe spacing: 1mm；2mm；3mm in three sizes.
Select probe material: tungsten carbide needle. white steel needle. gilded copper hemispherical needles.
聯(lián)系電話：18910554055 18910534055 18611444986
傳真號碼：010-68467699
移動電話：18611444986
郵政編號：100142
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