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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：自動橢圓偏振測厚儀

  • 產(chǎn)品型號：TC-003272
  • 產(chǎn)品廠商：其它品牌
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
自動橢圓偏振測厚儀/橢圓偏振測厚儀/測厚儀 型號：XB-TPY-2 產(chǎn)品特點(diǎn)： 儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點(diǎn)。光源采用氦氖激光器，功率穩(wěn)定波長精度高。 儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件功能齊全，具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式，適用于不同用戶的需要。
詳情介紹：
自動橢圓偏振測厚儀/橢圓偏振測厚儀/測厚儀  型號：XB-TPY-2
產(chǎn)品特點(diǎn)：
儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點(diǎn)。光源采用氦氖激光器，功率穩(wěn)定波長精度高。
儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件功能齊全，具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式，適用于不同用戶的需要。

規(guī)格與主要技術(shù)指標(biāo)：
測量范圍：薄膜厚度范圍1nm-4000nm     折射率范圍：1-10   
測量小示值：≤1nm                  入射角：20°- 90°精度≤0.05°
度盤刻度：每格1度                    允許樣品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm
偏振器步進(jìn)角：0.014°/步               偏振器方位角范圍：0°- 180°    
測量膜厚和折射率重復(fù)性精度分別為：0.5nm和0.005
儀器測量精度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm時）
光學(xué)中心高度：80mm   

成套性：主機(jī)、電控系統(tǒng)、USB接口、配套軟件（需配計算機(jī)）
主機(jī)重量：26kg    外形尺寸：680*390*310mm
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